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數字式硅晶體少子壽命測試儀 少子壽命測試儀
數字式硅晶體少子壽命測試儀 少子壽命測試儀
產品型號: LT-100C
產品編號:TC-002064
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數字式硅晶體少子壽命測試儀 少子壽命測試儀 型號: LT-100C
為解決太陽能單晶、多晶少子壽命測量,特按照國標GB/T1553及SEMI MF-1535用高頻光電導法研制出了數字式少子壽命測試儀。                                                       
      該設備是按照國家標準GB/T1553“硅單晶少數載流子壽命測定的高頻光電導衰減法”設計制造。高頻光電導衰減法在我國半導體集成電路、晶體管、整流器件、核探測器行業(yè)已運用了三十多年,積累了豐富的使用經驗,經過數次全國十多個單位巡回測試的考驗,證明是一種成熟可靠的測試方法,特別適合于硅塊、硅棒研磨面的少子體壽命測量;也可對硅片進行測量,給出相對壽命值。方法本身對樣品表面的要求為研磨面,制樣簡便。

 LT-100C數字式硅晶體少子壽命測試儀有以下特點:
1、 可測量太陽能級多晶硅塊、單晶硅棒少數載流子體壽命。表面無需拋光,直接對切割面或研磨面進行測量。同時可測量多晶硅檢驗棒及集成電路、整流器、晶體管級硅單晶的少子壽命。
2、  可測量太陽能級單晶及多晶硅片少數載流子的相對壽命,表面無需拋光、鈍化。
3、配備**用軟件的數字示波器,液晶屏上直接顯示少子壽命值,同時顯示動態(tài)光電導衰退波形,并可聯用打印機及計算機。
4、配置兩種波長的紅外光源:
a、紅外光源,光穿透硅晶體深度較深≥500μm,有利于準確測量晶體少數載流子體壽命。
b、短波長紅外脈沖激光器,光穿透硅晶體深度較淺≈30μm,但光強較強,有利于測量低阻太陽能級硅晶體。
5、測量范圍寬廣
測試儀可直接測量:
a、研磨或切割面:電阻率≥0.3Ω•㎝的單晶硅棒、定向結晶多晶硅塊少子體壽命,切割片的少子相對壽命。
b、拋光面:電阻率在0.3~0.01Ω•㎝范圍內的硅單晶、鍺單晶拋光片。
壽命可測范圍     0.25μS—10ms      
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